董監高集中競價減持股份結果公告
關於2022年限制性股票激勵計劃第二個歸屬期及2023年限制性股票激勵計劃第一個歸屬期歸屬結果暨股份上市的公告
關於公司2023年限制性股票激勵計劃第一個歸屬期符合歸屬條件的公告
監事會關於2023年限制性股票激勵計劃第一個歸屬期歸屬名單的核查意見
關於調整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激勵計劃相關事項及作廢處理部分限制性股票的公告
2023年年度權益分派實施公告
董監高集中競價減持股份計劃公告
關於調整 2023 年年度利潤分配現金分紅總額的公告
關於股份回購實施結果的公告
關於調整公司2024年限制性股票激勵計劃相關事項的公告
關於向2024年限制性股票激勵計劃激勵對象首次授予限制性股票的公告
上海市錦天城律師事務所關於中微半導體設備(上海)股份有限公司向2024年限制性股票激勵計劃激勵對象首次授予限制性股票之法律意見書
監事會關於2024年限制性股票激勵計劃首次授予激勵對象名單的核查意見
2024年限制性股票激勵計劃首次授予激勵對象名單(截至授予日)
關於公司2024年限制性股票激勵計劃內幕信息知情人買賣公司股票情況的自查報告
監事會關於公司2024年限制性股票激勵計劃首次授予激勵對象名單的公示情況說明及覈查意見
關於2022年限制性股票激勵計劃第二個歸屬期歸屬結果暨股份上市的公告
關於以集中競價交易方式回購公司股份的進展公告
關於公司2022年限制性股票激勵計劃第二個歸屬期符合歸屬條件的公告
關於作廢處理2022年限制性股票激勵計劃部分限制性股票的公告
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