公司成立於2008年,是國家高新技術企業、國家級專精特新“小巨人”企業、國家高新區瞪羚企業、國家“02重大專項”及國家智能製造新模式應用項目承擔單位。公司主要從事半導體設備精密零部件研發和製造。公司的產品包括工藝零部件、結構零部件、模組產品和氣體管路。公司榮譽有國家企業技術中心、國家服務型製造示範企業、國家智能製造優秀場景——智能在線檢測、第六屆“集成電路產業技術創新獎”——成果產業化獎、第四屆中國工業互聯網大賽“工業互聯網+精益生產”專業賽一等獎、遼寧省智能工廠、遼寧省省級服務型製造示範企業、遼寧省製造業單項冠軍示範企業遼寧省工業和信息化廳。
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