公司成立于2010年4月,是国家高新技术企业,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。公司在北京、上海、海宁、沈阳、美国成立子公司。公司主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务。主要产品:PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD等薄膜设备产品。企业荣誉:2017中国半导体设备五强企业、2017辽宁省科学技术奖励证书等。
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