公司成立于2005年,是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业,是具备世界先进技术的半导体设备制造商。公司主要从事对集成电路制造行业至关重要的半导体清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、无应力抛光设备、后道先进封装设备以及硅材料衬底制造工艺设备等的开发、制造和销售,并致力于为半导体制造商提供定制化、高性能、低消耗的工艺解决方案,有效提升客户多个步骤的生产效率、产品良率,并降低生产成本。公司经过多年持续的研发投入和技术积累,先后开发了前道半导体工艺设备,包括清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、无应力抛光设备;后道先进封装工艺设备以及硅材料衬底制造工艺设备等。公司连续多年被评为“中国半导体设备五强企业”,入选首批上海市科学技术委员会颁发的“上海市集成电路先进湿法工艺设备重点实验室”。获得2021年度上海集成电路企业半导体设备业销售前五名。公司前道铜互连电镀设备荣获第五届“IC创新奖-成果产业化奖”。此外,盛美被评为上海市“专精特新”企业。被认定为国家级“专精特新小巨人企业”、上海市企业技术中心;荣获浦东新区川沙新镇人民政府“2022年度公益慈善奖”等荣誉。
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