关于微导纳米公司

公司成立于2015年12月,是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售,向下游客户提供尖端薄膜设备、配套产品及服务。公司产品主要包括iTomic系列原子层沉积镀膜系统、iTomicMW系列批量式原子层沉积镀膜系统、iTomicLite系列轻型原子层沉积镀膜系统、iTomicPE系列等离子体增强原子层沉积镀膜系统、iTronix系列化学气相沉积镀膜系统、Trancendor系列晶圆真空传输系统、夸父(KF)系列批量式ALD系统、祝融(ZR)系列管式PEALD/PECVD系统、羲和(XH)系列高温低压系统、后羿(HY)系列板式ALD系统、iSparol系列卷对卷ALD系统。企业荣誉:工信部专精特新小巨人企业、苏南国家自主创新示范区独角兽企业、江苏省小巨人企业(制造类)等荣誉称号。