公司成立于2008年,是国家高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”企业、国家高新区瞪羚企业、国家“02重大专项”及国家智能制造新模式应用项目承担单位。公司主要从事半导体设备精密零部件研发和制造。公司的产品包括工艺零部件、结构零部件、模组产品和气体管路。公司荣誉有国家企业技术中心、国家服务型制造示范企业、国家智能制造优秀场景——智能在线检测、第六届“集成电路产业技术创新奖”——成果产业化奖、第四届中国工业互联网大赛“工业互联网+精益生产”专业赛一等奖、辽宁省智能工厂、辽宁省省级服务型制造示范企业、辽宁省制造业单项冠军示范企业辽宁省工业和信息化厅。
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